修改图片中第4模块「硬掩膜别省」部分:去掉拉踩对比的负面描述,改为两种工艺各自的优点介绍。左侧保留「200nm热氧SiO₂硬掩膜」,优点改为:选择比>100:1、波导侧壁垂直整齐、适合高深宽比结构;右
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